URN:NBN:SI:doc-Q9JQT7WC2011Balat-Pichelin, MarianneMozetič, MiranVesel, Alenkadocuments/doc/Q/URN_NBN_SI_doc-Q9JQT7WC_001.pdfdocuments/doc/Q/URN_NBN_SI_doc-Q9JQT7WC_001.txt141articlestr. 18-210352-904524912167URN:NBN:SI:doc-Q9JQT7WCengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCabsorpcijaelektromagnetno poljemikrovalovimočplazmapowerAbsorpcija mikrovalovne moči v dušikovi plazmi pri nizkih tlakihAbsorption of microwave power in nitrogen plasma at moderately low pressure