URN:NBN:SI:doc-PW1D9UUB1996Kegel, BertLiebl, GerhardPetasch, WolfgangSchmid, HermannŠorli, Iztokdocuments/doc/P/URN_NBN_SI_doc-PW1D9UUB_001.pdfdocuments/doc/P/URN_NBN_SI_doc-PW1D9UUB_001.txt126articlestr. 35-450352-90451255764URN:NBN:SI:doc-PW1D9UUBengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCmikroelektronikaplazemsko procesiranjeplazmapovršinska obdelava