454 KB16 KB198520251998Mozetič, Miranletnik:28številka:3str. 175-179ISSN:0352-9045COBISSID:29922URN:URN:NBN:SI:doc-POMGDVIIenStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMkatalizatorjikemijska kinetikakisiknikeljplazmapolieter sulfonReactions on catalytic probe surface during oxygen plasma treatment of polyether sulphone| Reakcije na površini katalitične sonde med plazemsko obdelavo polieter sulfona|Experiments on the behavior of a nickel catalytic probe during activation of the surface of polyether sulphone in oxygen plasma are described. The temperature of the probe mounted 30 cm apart from inductively coupled RF oxygen plasma was measured for the case of empty dischaarge vessel and the case a sample with the dimensions of 8 cm x 1.2 cm x 0.4 cm was mounted in the middle of the discharge coil. It was found that both the maximum temperature and the first time derivative of the probe was much higher in the case of loaded discharge vessel than in the case of empty vessel. Both effects were described in terms of a higher probability for recombination of radicals such as CO on the probe surface than the recombination of neutral oxygen atomsPrikazujemo obnašanje nikljeve katalitične sonde med aktivacijo površine polieter sulfona v kisikovi plazmi. Merili smo temperaturo sonde, ki je bila nameščena 30 cm od induktivno sklopljene RF kisikove plazme v primeru prazne razelektritvene komore in v primeru, ko smo v sredino razelektritvene tuljave namestili vzorec z dimenzijami 8 cm x 1,2 cm x 0,4 cm. Ugotovili smo, da sta tako največja temperatura, ki jo doseže sonda, kot tudi prvi časovni odvod temperature sonde po vklopu RF generatorja, precej večja v primeru, ko je v razelektritveni komori nameščen vzorec, ko je komora prazna. Oba pojava smo tolmačili z večjo verjetnostjo za rekombinacijo radikalov kot je CO na površini sonde, kot je verjetnost za rekombinacijo nevtralnih atomov kisikaTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale