URN:NBN:SI:doc-PHHQJFX51998Aljančič, UrošAmon, SlavkoCvar, MatjažResnik, DragoVrtačnik, Danilodocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/urn_nbn_si_doc-phhqjfx5.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/urn_nbn_si_doc-phhqjfx5.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/urn_nbn_si_doc-phhqjfx5.txt1188 straniarticlestr. 4-110351-9716984404URN:NBN:SI:doc-PHHQJFX5slvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCbondiranjejedkanjemikroobdelavasilicijMikroobdelava silicija