18 KB1880 KB15 KB198120222000Čekada, Mihaštevilka:1letnik:204 stranistr. 16-19ISSN:0351-9716COBISSID:15255335URN:URN:NBN:SI:doc-P2R63G6PslDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistdebelinamaterialimeritvepreizkušanjetanke plastiPrimerjava metod merjenja debeline tankih plasti|In this paper methods for thin film thickness measurement are briefly described. Foe each method the physical background and the measurement procedure is given as well as the thickness range, where the method is applicable. Also presented are the limitations of substrate and film type and the necessary equipmentV članku so kratko opisane metode, s katerimi merimo debelino tankih plasti. Pri vsaki je opisano fizikalno ozadje in način merjenja ter podan obseg debeline, na katerem je metoda uporabna. Predstavljene so tudi omejitve glede na vrsto plasti in podlage ter potrebna opremaTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije