URN:NBN:SI:doc-OYAIYW3H2014Banitorfian, Fatemadocuments/doc/O/URN_NBN_SI_doc-OYAIYW3H_001.pdfdocuments/doc/O/URN_NBN_SI_doc-OYAIYW3H_001.txt244articlestr. 87-1030352-9045280495104URN:NBN:SI:doc-OYAIYW3HengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCMEMS strukturepasivna vezjatuljaveEvaluacija in analiza metod za oblikovanje fiksnih in variabilnih MEMS tuljavEvaluation and analysis of methods for fixed and variable MEMS inductors design