URN:NBN:SI:doc-NLAUEWQ51990Aleksandrov, BorisKlanjšek Gunde, Martadocuments/doc/N/URN_NBN_SI_doc-NLAUEWQ5_001.pdfdocuments/doc/N/URN_NBN_SI_doc-NLAUEWQ5_001.txt2020, št. 3 (september 1990), str. 138-1413article0352-904520747010URN:NBN:SI:doc-NLAUEWQ5slvStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCsilicijevi oksidispektralna analizatanke plasti