URN:NBN:SI:doc-N5LBXUO52008Levchenko, Igordocuments/doc/N/URN_NBN_SI_doc-N5LBXUO5_001.pdfdocuments/doc/N/URN_NBN_SI_doc-N5LBXUO5_001.txt384articlestr. 283-2880352-90457570004URN:NBN:SI:doc-N5LBXUO5engStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCmagnetronmikrovalovinanostrukturenanotehnologijaoblokplazmaapproaches to numerical simulation of complex processes on low temperature plasma exposed surfacespristopi k numerični simulaciji procesov na površini materialov, ki so izpostavljeni nizkotemperaturni plazmiSelf-organized world of plasma nanoscienceSpontana organizacija v svetu plazemske nanoznanosti