20 KB1985 KB17 KB198120222000Čekada, MihaŠmíd, Petrletnik:20številka:3/44 stranistr. 8-11ISSN:0351-9716COBISSID:15668519URN:URN:NBN:SI:doc-LXJTU0GEslDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistoptična spektroskopijapreiskava materialaRazelektritvena optična spektroskopija (GDOES)| Glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES)|In this paper the basic principle of glow discahrge optical emission spectrometry for depth profile analysis is described and some of the remaining problems with regard to quantification are discussed. Several applications of this technique are also presentedV prispevku opisujemo osnovni princip, na katerem temelji razelektritvena optiča spektroskopija, ki se uporablja za analizo sestave trdnega vzorca po globini. Obravnavamo tudi nekatere nerešene probleme s katerimi se srečujemo pri kvantifikaciji izmerjenih spektrov. Uporabnost metode ilustriramo z nekaterimi praktičnimi primeriTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije