18 KB2038 KB17 KB198120221998Mozetič, MiranPregelj, AndrejSpruk, SonjaZorko, Benjaminštevilka:1letnik:184 stranistr. 12-15ISSN:0351-9716COBISSID:21730URN:URN:NBN:SI:doc-KLY9W9YCslDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistčrpalkemikrostrukturapeskanjepovršinska obdelavatitantrakoviPovršinska obdelava titanovih trakov iz ionske črpalke|Influence of different methods of sand blasting on the composition and morphology of titanium strips from a triode sputter ion ultra high vacuum pump was studied. The surfaces were blasting with glass balls with the average diameter of 150 ?$\mu$?m and alumina with the average size of particles of 10 ?$\mu$?m. We found that during the blasting a layer rich in sand is formed on the surface. The characteristic dimensions of the particles of material on the surface is much lower that the original size of sand. Investigations with the electron microscope showed a rich relief in contrary to the original surface. Both the relief and the composition of the surface are changed substantially after the treatment of the surface with fluorine acidPreiskovali smo vpliv različnih vrst peskanja na sestavo in morfologijo titanovih trakov iz triodne ionsko naprševalne ultra visokovakuumske črpalke. Površino smo peskali s steklenimi kroglicami povprečnega premera 150?$\mu$?m in aluminijevim oksidom s pšovprečno velikostjo zrn 10?$\mu$?m. Ugotovili smo, da se med peskanjem na površini titanovih trakov formira tanka plast meteriala, s katerim obdelujemo površino. Pri tem je karakteristična razsežnost drobcev materiala precej manjša od originalne velikosti zrn peska. Preiskave površine z elektronskim mikroskopom so pokazale bogat relief, kar jev nasprotju z originalno površino titana. Tako relief kot sestava površine se bistveno spremenita po obdelavi vzorcev s fluorovodikovo kislinoTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije