25 KB1387 KB23 KB198120221996Drab, MarjanGrašič, IgorPregelj, Andrejletnik:16številka:25 stranistr. 10-14ISSN:0351-9716COBISSID:17483525URN:URN:NBN:SI:doc-IT0VN3LVslDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistčrpalkevakuumska tehnikavakuumske črpalkeNaprševalne ionsko-getrske črpalke|Ion-getter (IG) pumps are commonly used to create Ultra High Vacuum (UHV). They are very clean, they pump different gases, do not cause vibrations, enable the pressure reading and in long lifetime need no maintenance. At the occasion of development of slovene IG pump and a new Penning gauge we want to describe them in more detail. The contribution represents the principles of operation, various realization, performances for pumping different gasses and requirements for manufacturing technologyIonsko-getrske (IG) črpalke so najpogosteje uporabljane črpalke za ustvarjanje ultravisokega vakuuma (UVV). So zelo čiste, črpajo lahko različne pline, ne povzročajo vibracij, omogočajo odčitavanje tlaka in v dolgi delovni dobi skoraj ne potrebujejo vzdrževanja. Ob priliki razvoja domače IG črpalke in Penning merilnika jih želimo pobliže predstaviti; prispevek obravnava princip delovanja, različne izvedbe, sposobnosti za črpanje različnih plinov in zahtevnost izdelavne tehnologijeTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije