URN:NBN:SI:doc-I12X8UZI2006Panjan, Peterdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/urn_nbn_si_doc-i12x8uzi.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/urn_nbn_si_doc-i12x8uzi.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/urn_nbn_si_doc-i12x8uzi.txt1/2263 straniarticlestr. 47-490351-971620403751URN:NBN:SI:doc-I12X8UZIslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCmerjenje temperaturetanke plastivakuumska tehnikaMerjenje temperature v vakuumskih sistemih med PVD-procesi nanašanja tankih plasti