27 KB2739 KB24 KB198120222002Maček, Marijanštevilka:1letnik:226 stranistr. 4-9ISSN:0351-9716COBISSID:16761383URN:URN:NBN:SI:doc-GXFEFBILslDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistkvadrupolni masni spektrometermasna spektroskopijamasni spektrometerplazmaEnergijsko ločljiva masna spektroskopija plazme| Energy-resolved mass spectrometry of plasma|Basic principles of quadropole mass sspectrometer (QMS) is described, one of the key elements of energy-resolved mass spectroscopy of plasma and residual gases. From the fundamental Matthieu equations which described the movement of ions in quadropole field, stability criteria are derived for the transmission of ions with precisely defined mass-to-charge ratio (M/e) through the spectrometer. Based on the understanding of the QMS principles, two models of operation are described: by contrast resolution M/triangleM and by constant triangleM, with an emphasis on advantages and disadvantages of respective modes. The construction of modern spectrometers is briefly presented, including ionization chamber, ion optics and counter electronics. Two typical examples of mass spectrometry of plasma are also givenPodan je opis kvadrupolnega masnega spektrometra (QMS), ključnega elementa energijsko ločljive masne spektroskopije plazme in rezidualnih plinov. Iz osnovnih Mathieuevih enačb, ki opisujejo gibanje iona v kvadrupolnem polju so izvedeni stabilnostni pogoji, pri katerih spektrometer prepušča ione s točno določenim razmerjem med maso iona M in nabojem e, tj. M/e. Na osnovi razumevanja delovanja QMS sta razložena načina delovanja s konstantno resolucijo M/trikotnikM in konstantnim trikotnikM s poudarkom na dobrih in slabih straneh posameznega načina meritve. Na kratko je prikazana tudi izvedba sodobnih spektrometrov od ionizacijske celice oziroma ionske optike do števne elektronike. Podana sta še dva značilna primera uporabe masne spektroskopije plasmeTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije