31 KB2833 KB26 KB198120222002Cvelbar, UrošČekada, MihaMozetič, Miranletnik:22številka:46 stranistr. 8-13ISSN:0351-9716COBISSID:17319719URN:URN:NBN:SI:doc-GQ3ZW5R5slDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistkovinemodelioksidacijaoksidne plastirasttanke plastiTeorija rasti kovinskih oksidnih plasti| Theory of the metal oxide growth|The article deals with growth of metal oxides and general oxidation theory. According to the theory there are three types: linear, logarithmic and parabolic. The idela case is the parabolic growth, were the growing oxide layer is compact without any micro- and macrocracks and thicker than 10 nm. This growth model can be easily described by diffusion that explains also the Wagner oxidation model. A more sophisticated model includes also the temperature dependence. Similar results for parabolic growth come from the diffusion on grain boundaries. Results of linear or logarithimc growth are presented, but the real case is actually the combination of all three models, depending on different parameters. The oxidation is very useful in modern industry that is why some new examples are presentedČlanek obravnava rast kovinskih oksidnih plasti in splošno teorijo oksidacije.Glede na tip oksidacije oz. oksidno plast, ki nastaja pri njej, delimo rast oksidnih plasti na tri vrste: linearno, logaritemsko in parabolično rast. V idealnem primeru, ko je nastala oksidna plast debelejša od 10 nm in kompaktna ter brez mikro- ali makrorazpok, velja parabolična rast. To rast plasti najpogosteje opišemo z enostavnim difuzijskim modelom, pojasni pa jo tudi Wagnerjev model oksidacije. Pri tem je podana tudi povezava s temperaturo. Podobno rešitev rasti dobimo tudi za difuzijo po meji zrn. Prikazana je tudi linearna in logaritemska oksidacija. V primeru realnega primera gre največkrat za kombinacije vseh teh rasti z različnimi parametri. Podani pa so tudi nekateri novejši primeri iz praktične uporabe rasti oksidacijeTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije