URN:NBN:SI:doc-GPNVJZ302000Bender, Hugodocuments/doc/G/URN_NBN_SI_doc-GPNVJZ30_001.pdfdocuments/doc/G/URN_NBN_SI_doc-GPNVJZ30_001.txt304articlestr. 216-2220352-90452235476URN:NBN:SI:doc-GPNVJZ30engStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCanalizne odpovedicurek ionovelektronske napravefokusiran curek ionovpolprevodnikiupodabljanje površineApplication of focused ion beam for failure analysisUporaba curka fokusiranih ionov pri analizi odpovedi