URN:NBN:SI:doc-G206C1WI2008Aljančič, UrošAmon, SlavkoMožek, MatejPenič, SamoResnik, DragoVrtačnik, Danilodocuments/doc/G/URN_NBN_SI_doc-G206C1WI_001.pdfdocuments/doc/G/URN_NBN_SI_doc-G206C1WI_001.txt238articlestr. 81-880352-90457137876URN:NBN:SI:doc-G206C1WIengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCkarakterizacijapiezoelektrični koeficientpiezoelektrikisilicijtanke plastiCantilever method for determination of d31 coefficient in thin piezoelectric filmsMetoda za določanje koeficienta d31 tankih piezoelektričnih filmov