URN:NBN:SI:doc-FYWP2J6F2016Tunaboylu, Bahadirdocuments/doc/F/URN_NBN_SI_doc-FYWP2J6F_001.pdfdocuments/doc/F/URN_NBN_SI_doc-FYWP2J6F_001.txt246articlestr. 80-900352-9045290773248URN:NBN:SI:doc-FYWP2J6FengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCkontaktna upornostmikroelektronikananos plastisondeLastnosti MEMS sond iz Ni litine in prevlečenih z PdCo filmom pri testiranju polprevodniških rezinPerformance of Ni-alloy MEMS-probes coated with PdCo films in semiconductor wafer test