URN:NBN:SI:doc-FMY93RNO1994Nemanič, Vincencdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/URN_NBN_SI_doc-FMY93RNO.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/URN_NBN_SI_doc-FMY93RNO.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/URN_NBN_SI_doc-FMY93RNO.txt1424 straniarticlestr. 4-70351-97166370URN:NBN:SI:doc-FMY93RNOslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCmikroelektronikavakuumska tehnika