URN:NBN:SI:doc-FAAB61921988Godec, MatjažNavinšek, BorisPanjan, PeterŽabkar, Antondocuments/doc/F/URN_NBN_SI_doc-FAAB6192_001.pdfdocuments/doc/F/URN_NBN_SI_doc-FAAB6192_001.txt118article0352-904550959104URN:NBN:SI:doc-FAAB6192slvStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCdifuzijamikroelektronikatanke plastiDifuzijska zapora TiN v mikroelektroniki