URN:NBN:SI:doc-DKFE1XUJ1989Gspan, BoštjanOsredkar, Radkodocuments/doc/D/URN_NBN_SI_doc-DKFE1XUJ_001.pdfdocuments/doc/D/URN_NBN_SI_doc-DKFE1XUJ_001.txt1919, št. 3 (september 1989), str. 155-1563article0352-904514256386URN:NBN:SI:doc-DKFE1XUJslvStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCnapetostitanke plastiMeritve mehanskih napetosti tankih plasti PECVD silicijevega nitrida in oksinitrida