URN:NBN:SI:doc-BTD2JV7I2009Čekada, MihaKek-Merl, DarjaPanjan, MatjažPanjan, PeterPaskvale, Srečkodocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/URN_NBN_SI_doc-BTD2JV7I.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/URN_NBN_SI_doc-BTD2JV7I.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/URN_NBN_SI_doc-BTD2JV7I.txt1/2296 straniarticlestr. 31-360351-971622653991URN:NBN:SI:doc-BTD2JV7IslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCmagnetronsko naprševanjetanke plastiHigh power pulsed magnetron sputteringPulzno magnetronsko naprševanje pri veliki vršni moči