15 KB1690 KB14 KB198120222000Mozetič, MiranPanjan, Peterštevilka:1letnik:203 stranistr. 9-11ISSN:0351-9716COBISSID:15254567URN:URN:NBN:SI:doc-ATOG821UslDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistjedkanjekisikoksidacijaplazemsko čiščenjeplazmasterilizacijaupepeljevanjeUporaba kisikove plazme v sodobnih tehnologijah|Some technologies based on application of oxygen plasma are described: discharge cleaning, activation of polymer surfaces, cold ashing, selective plasma etching, low temperature oxidation of metal surfaces, anisotropic etching and plasma sterilization. Some technological procedures are already used in Slovenia at least on the experimental scale, whilest the others are still beating their paths. With increasing demands on the quality of productsand ecological suitability of technologies used, the technologies willfind their application in Slovene science and industryOpisane so nekater tehnologije, ki temeljijo na uporabi kisikove plazme: plazemsko čiščenje, aktivacija površin polimernih materialov, hladno upepeljevanje, selektivno jedkanje, nizkotemperaturna oksidacija kovinskih površin, izotropno jedkanje in plazemska sterilizacija. Nekatere tehnološke postopke že vsaj eksperimentalno upolabljajo v Sloveniji, drugi pa si šele utirajo pot. Z zaostritvijo zahtev po kakovosti izdelkov in ekološki neoporečnosti uporabljenih metod se bodo tehnologije v prihodnosti uveljavile tudi v slovenski znanosti in industrijiTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije