URN:NBN:SI:doc-8D49NR1H2006Nassiopoulou, Androula G.documents/doc/8/URN_NBN_SI_doc-8D49NR1H_001.pdfdocuments/doc/8/URN_NBN_SI_doc-8D49NR1H_001.txt364articlestr. 197-2030352-90456539348URN:NBN:SI:doc-8D49NR1HengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCmikrogrelciRF komponentesenzorjisilicijPorous silicon for sensors and on-chip integration of RF componentsPorozni silicij kot material za integracijo senzorjev in RF komponent na čipu