URN:NBN:SI:doc-88GQU5UK2003Mozetič, MiranVesel, Alenkadocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/urn_nbn_si_doc-88gqu5uk.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/urn_nbn_si_doc-88gqu5uk.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/urn_nbn_si_doc-88gqu5uk.txt1233 straniarticlestr. 16-180351-971617494567URN:NBN:SI:doc-88GQU5UKslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCionske črpalkevakuumska tehnikaMagnetron sputter-ion pumpMagnetronska ionsko-razprševalna črpalka