URN:NBN:SI:doc-7WA7WSRU1996Kegel, BertLiebel, GerhardPetasch, WolfgangRies, WilfSchmid, HermannŠorli, Iztokdocuments/doc/7/URN_NBN_SI_doc-7WA7WSRU_001.pdfdocuments/doc/7/URN_NBN_SI_doc-7WA7WSRU_001.txt226articlestr. 113-1210352-90451256532URN:NBN:SI:doc-7WA7WSRUengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCmikroelektronikaplazemsko procesiranjeplazmapovršinska obdelava