URN:NBN:SI:doc-7ULHJEIQ2006Aljančič, UrošAmon, SlavkoBatagelj, BoštjanMožek, MatejResnik, DragoVrtačnik, Danilodocuments/doc/7/URN_NBN_SI_doc-7ULHJEIQ_001.pdfdocuments/doc/7/URN_NBN_SI_doc-7ULHJEIQ_001.txt136articlestr. 1-100352-90455328212URN:NBN:SI:doc-7ULHJEIQengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCdelilnikihrapavostmikroobdelavamikrozrcalasilicijsurfaktantiSilicijeve optične mikrostrukture realizirane z mikroobdelavoSilicon optical microstructures based on wet micromachining