31 KB1569 KB26 KB198120221997Drobnič, MatijaMozetič, MiranPregelj, Andrejštevilka:1letnik:176 stranistr. 17-22ISSN:0351-9716COBISSID:18146URN:URN:NBN:SI:doc-6BYKOGR9slDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistfizika plazmeplazmatermodinamikavakuumvakuumska tehnikaOsnovne značilnosti nizkotlačne šibkoionizirane plazme|Basic characteristics of low pressure weakly ionized plasma used for processing of solid surfaces are described. Simple physical considerations are applied to estimate the role the electrons, ions and other heavy particles play in plasma. The phenomenon of coexistence of particles with substantially different temperature in the same vessel is describedOpisujemo osnovne značilnosti nizkotlačne šibkoionizirane plazme, ki se pogosto uporablja pri različnih obdelavah površin trdnih snovi. S preprostim fizikalnim razmislekom ocenimo vlogo elektronov, ionov in drugih težkih delcev v plazmi in razložimo, zakaj lahko v takšni plazmi v isti komori obstajajo delci z bistveno različnimi temperaturamiTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije