URN:NBN:SI:doc-5TP36C3P2009Aljančič, UrošAmon, SlavkoMožek, MatejPenič, SamoResnik, DragoVrtačnik, Danilodocuments/doc/5/URN_NBN_SI_doc-5TP36C3P_001.pdfdocuments/doc/5/URN_NBN_SI_doc-5TP36C3P_001.txt139articlestr. 85-920352-90457570516URN:NBN:SI:doc-5TP36C3PengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCkarakterizacijapiezoelektrični koeficientpiezoelektrikisilicijtanke plastiCantilever method for determination of D31 coefficient in thin piezoelectric filmsMetoda za določanje koeficienta d31 tankih piezoelektričnih filmov