9 KB457 KB9 KB199219991997Gasperič, Jože3 straniletnik:31številka:6str. 503-505ISSN:1318-0010COBISSID:70570URN:URN:NBN:SI:doc-5RPR5YQAenInštitut za kovinske materiale in tehnologijeŽelezarna JeseniceŽelezarna RavneŽelezarna ŠtoreKovine zlitine tehnologiječrpalkedelovanjedifuzijske črpalkenizki tlakrotacijske črpalkeThe proper operation of the high vacuum pumping system| Pravilno delovanje visokovakuumskega črpalnega sistema|The proper operation of high vacuum pumping system with oil diffusion pumps and backing rotary pumps is very important, otherwise the contamination of vacuum chambers by backstreaming oil vapours is extremely high as well as the oxidation and the loss of diffusion pump oil. The forepressure switching point, where the diffusion pump is put into the operation by opening the high vacuum and forepressure valves is discussed. There are three possible situations: the pumping throughput is just adapted, or it is too low or too high. What is going on, when the pumping throughput is adapted, it is ilustrated using the throughput-pressure diagram. At the end some practical advices are done, how to recognize that the operation of the HV pumping system is correctPravilno upravljanje in delovanje visokovakuumskega črpalnega sistema z oljno difuzijsko črpalko in rotacijsko predčrpalko je zelo pomembno, kajti v nasprotnem primeru pride do močno povečanega povratnega toka oljnih par iz difuzijske črpalke v vakuumsko komoro in s tem do njene kontaminacije. Izguba olja v difuzijski črpalki in njegova pospešena oksidacija sta spremljajoča pojava. Pri ročnem ali avtomatiziranem upravljanju črpalnega sistema je zelo pmemben trenutek oz. točka preklopa, ko prenehamo črpati s predčrpalko po obtočnem vodu in odpremo visokovakuumski in predvakuumski ventil in začnemo črpati z difuzijsko črpalko. Možna so tri delovna stanja: delovanje obeh črpalk je usklajeno, predčrpalka ima premajhno ali preveliko črpalno hitrost. Usklajeno stanje smo ponazorili na diagramu. Podani so tudi praktični napotki, kako spoznamo, ali je črpalni sistem pravilno upravljanTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of Slovenia