8 KB422 KB7 KB199219991997Berič, BorisDrab, MarjanPregelj, AndrejSulčič, Slavko3 straništevilka:3/4letnik:31str. 281-283ISSN:1318-0010COBISSID:66986URN:URN:NBN:SI:doc-521WHUUQslInštitut za kovinske materiale in tehnologijeŽelezarna JeseniceŽelezarna RavneŽelezarna ŠtoreKovine zlitine tehnologijeavtomatizacijakrmilni sistemiračunalniško krmiljenjevakuumski sistemiAvtomatizacija postopka naprševanja na laboratorijskem visokovakuumskem sistemu| Automation of the sputtering process on high vacuum lab system|The modern vacuum systems have valves and other elements PC or PLC controlled. For safety reasons all movements are checked in real time and adapted to real values of pressure temperature, current, thickness of sputtering layer, etching time etc. Motion, pressure and other sensors are essential. In data analyzing and motion control microprocessor plays important role. This article describes development of automated module for controlling the Lab High Vacuum SystemV vseh sodobnih vakuumskih sistemih upravljamo ventile in druge elemente indirektno z elektromagnetno pnevmatiko. Zaradi varnosti mora biti vklučena kontrola sproženih gibov, tehnološki proces pa zahteva še prirejenost teh dejanj spreminjajočim se parametrom, kot so tlak, temperatura, jakost toka, debelina nastajajoče tanke plasti, čas jedkanja itd. Potrebni so torej senzorji gibov in drugih pomembnih veličin. Za celotno obravnavanje podatkov ter upravljanje elementov in s tem vodenje procesa se vse bolj uveljavlja uporaba mikroprocesorjev. Prispevek opisuje razvoj in izvedbo računalniškega krmiljenja, ki je bilo vgrajeno v visokovakuumski črpalni sistem VS 10TEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of Slovenia