URN:NBN:SI:doc-521WHUUQ1997Berič, BorisDrab, MarjanPregelj, AndrejSulčič, Slavkodocuments/znanstveni_clanki/kovine_zlitine_tehnologije/html/URN_NBN_SI_doc-521WHUUQ.htmldocuments/znanstveni_clanki/kovine_zlitine_tehnologije/pdf/URN_NBN_SI_doc-521WHUUQ.pdfdocuments/znanstveni_clanki/kovine_zlitine_tehnologije/txt/URN_NBN_SI_doc-521WHUUQ.txt3 strani3/431journalstr. 281-2831318-001066986URN:NBN:SI:doc-521WHUUQslvInštitut za kovinske materiale in tehnologijeŽelezarna JeseniceŽelezarna RavneŽelezarna ŠtoreKovine zlitine tehnologijeInCavtomatizacijakrmilni sistemiračunalniško krmiljenjevakuumski sistemiAutomation of the sputtering process on high vacuum lab systemAvtomatizacija postopka naprševanja na laboratorijskem visokovakuumskem sistemu