URN:NBN:SI:doc-4MP70BED1997Resnik, Dragodocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/URN_NBN_SI_doc-4MP70BED.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/URN_NBN_SI_doc-4MP70BED.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/URN_NBN_SI_doc-4MP70BED.txt1744 straniarticlestr. 4-70351-9716984148URN:NBN:SI:doc-4MP70BEDslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCanizotropno jedkanjeelektronski elementimikroobdelavapovršinska obdelavasilicij