364 KB12 KB198520251996Irmančnik-Belič, LidijaPožun, Karolštevilka:1letnik:26str. 14-17ISSN:0352-9045COBISSID:17358853URN:URN:NBN:SI:doc-42PU8736slStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMElectronikaelektronikananašanjerelativna vlažnostsenzorjitanke plastiTankoplastni kapacitivni senzor relativne vlažnosti|Pospešene raziskave na področju merjenja zračne vlage so pripeljale do zamenjave mehanskih detektorjev s senzorji, ki v odvisnostinod zračne vlage spreminjajo svoje električne karakteristike in so zato primerni za vgradnjo v elektronske merilnike. V grobem ločimo uporovne in kapacitativne senzorje. Kot material za izdelavo senzorjev uporabljajo različne soli, v zadnjem času papredvsem keramične in polimerne materiale. V delu predstavljamo kapacitativni polimerni senzor vlage. Glavne prednosti takega senzorja so majhne dimenzije, velika občutljivost, kratek reakcijski čas, majhen temperaturni koeficient in skoraj zanemarljiv vpliv pretoka zraka na meritev. Točnost meritev, ki jo lahko dosežemo z omenjenim tipom senzorja, znaša ?$\pm1%$? relativne vlageTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale