URN:NBN:SI:doc-3M3HRYXT2005Čekada, MihaPanjan, Peterdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/urn_nbn_si_doc-3m3hryxt.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/urn_nbn_si_doc-3m3hryxt.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/urn_nbn_si_doc-3m3hryxt.txt2545 straniarticlestr. 18-220351-971619716903URN:NBN:SI:doc-3M3HRYXTslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCmagnetronsko naprševanjetanke plasti