URN:NBN:SI:doc-346GX77M2006Zupanič, Francdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/urn_nbn_si_doc-346gx77m.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/urn_nbn_si_doc-346gx77m.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/urn_nbn_si_doc-346gx77m.txt2646 straniarticlestr. 4-90351-971611145750URN:NBN:SI:doc-346GX77MslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCfokusirani ionski curekmikroskopnanašanje materialaodvzemanje materialaTehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB)