URN:NBN:SI:doc-0N6AU9GJ2007Čekada, MihaKahn, MarkhusWaldhauser, Wolfgangdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/html/URN_NBN_SI_doc-0N6AU9GJ.htmldocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/pdf/URN_NBN_SI_doc-0N6AU9GJ.pdfdocuments/znanstveni_clanki/vakuumist/txt/URN_NBN_SI_doc-0N6AU9GJ.txt273 strani4articlestr. 20-220351-971621509671URN:NBN:SI:doc-0N6AU9GJslvDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistInCionski izviriplazmaAnodni ionski izvir