17 KB1826 KB16 KB198120221997Ambrožič, Milanletnik:17številka:44 stranistr. 15-18ISSN:0351-9716COBISSID:13481511URN:URN:NBN:SI:doc-05YC30MYslDruštvo za vakuumsko tehniko SlovenijeVakuumistanalizapovršinespektroskopijatanke plastiFizikalne osnove metod za analizo površin trdnih snovi in tankih plasti| Fundamentals of surface and thin film analysis|Material surface and thin film analysis is mainly performed by using various surface spectroscopies. The differ from each other in the type particles incident and emitted from the samples, as well as in their energies. A generalphysical description of common spectroscopic methods is given hereZa anlizo površin in tankih plasti materialov največ uporabljamo različne spektroskopske metode. Te se razlikujejo ena od druge po vrsti vpadnih in izhajajočih delcev iz preiskovanega vzorca ter po njihovi energiji. V tem članku so opisane glavne fizikalne značilnosti spektroskopijTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaDruštvo za vakuumsko tehniko Slovenije