435 KB23 KB198520251992Hrovatin, RokMožina, Janezletnik:22številka:3(63)str. 174-179ISSN:0352-9045COBISSID_HOST:4380955URN:URN:NBN:SI:doc-XGEFN38SslStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMbrezkontaktno merjenjecontactless measurementdefektoskopi ultrazvočnidetekcija ultrazvokainterferometri Michelsonlaser ultrasonicslaserji Nd-YAGlaserji ultravalovnilaserska ultrasonikameritve brezdotikalneMichelsonov interferometerMichelson's interferometerNdYAG laserjiNdYAG laserssenzorji malih pomikovsmall displacement sensorsultrasonic defectoscopesultrasound detectionultrazvočni defektoskopiLaserski ultrazvočni defektoskop| Laser ultrasonic defectoscope|The construction and the basic operating principles are presented for two interferometric systems for noncontact laser induced ultrasonic displacement measurements. Both system responses are proportional to the displacements on material surface and amplitudes down to the order of magnitude of 0.1 micrometers can be detected. In this paper experiments with varying excitation parameters are discussed with different effects on the ultrasonic wave shape are analyzedV članku je prikazana zgradba in način delovanja dveh sistemov za brezdotično interferometrsko detekcijo lasersko generiranih ultrazvočnih pomikov. Odziv obeh sistemov je proporcionalen dejanskim odmikom na površini materiala, z njim pa lahko detektiramo pomike reda velikosti 0.1 mikrometrov. V eksperimentalnem delu predstavljamo odzive teh sistemov na lasersko vzbujen ultrazvok pri različnih parametrih, hkrati pa razčlenjujemo vplive na obliko in širjenje ultrazvočnega valaTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale