URN:NBN:SI:DOC-VMDK880N1993Maček, Marijandocuments/doc/V/URN_NBN_SI_doc-VMDK880N_001.pdfdocuments/doc/V/URN_NBN_SI_doc-VMDK880N_001.txt23, št. 4 (dec. 1993), str. 275-283article0352-904554845184URN:NBN:SI:doc-VMDK880NengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCčiščenjeintegrirano vezjemikrohrapavostpolprevodnikipovršinasilicijeve površine