<?xml version="1.0"?><rdf:RDF xmlns:dc="http://purl.org/dc/elements/1.1/" xmlns:edm="http://www.europeana.eu/schemas/edm/" xmlns:wgs84_pos="http://www.w3.org/2003/01/geo/wgs84_pos" xmlns:foaf="http://xmlns.com/foaf/0.1/" xmlns:rdaGr2="http://rdvocab.info/ElementsGr2" xmlns:oai="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/" xmlns:owl="http://www.w3.org/2002/07/owl#" xmlns:rdf="http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#" xmlns:ore="http://www.openarchives.org/ore/terms/" xmlns:skos="http://www.w3.org/2004/02/skos/core#" xmlns:dcterms="http://purl.org/dc/terms/"><edm:WebResource rdf:about="http://www.dlib.si/stream/URN:NBN:SI:DOC-U51ZZSTB/fe2e8ae6-38d3-43a5-8be2-319ed7e757ea/PDF"><dcterms:extent>2449 KB</dcterms:extent></edm:WebResource><edm:WebResource rdf:about="http://www.dlib.si/stream/URN:NBN:SI:DOC-U51ZZSTB/4f82b84b-d260-404f-a1e4-6752cba8a4f2/TEXT"><dcterms:extent>0 KB</dcterms:extent></edm:WebResource><edm:TimeSpan rdf:about="2000-2026"><edm:begin xml:lang="en">2000</edm:begin><edm:end xml:lang="en">2026</edm:end></edm:TimeSpan><edm:ProvidedCHO rdf:about="URN:NBN:SI:DOC-U51ZZSTB"><dcterms:isPartOf rdf:resource="https://www.dlib.si/details/urn:nbn:si:spr-ihg6vo21" /><dcterms:issued>2026</dcterms:issued><dc:creator>Benamara, Ouarda</dc:creator><dc:creator>Benhaya, Abdelhamid</dc:creator><dc:creator>Benyahia, Kaddour</dc:creator><dc:creator>Guidoum, Arsalane Chouaib</dc:creator><dc:format xml:lang="sl">številka:4</dc:format><dc:format xml:lang="sl">letnik:60</dc:format><dc:format xml:lang="sl">str. 635–644</dc:format><dc:identifier>DOI:10.17222/mit.2026.1733</dc:identifier><dc:identifier>ISSN:1580-2949</dc:identifier><dc:identifier>COBISSID_HOST:290036227</dc:identifier><dc:identifier>URN:URN:NBN:SI:doc-U51ZZSTB</dc:identifier><dc:language>en</dc:language><dc:publisher xml:lang="sl">Inštitut za kovinske materiale in tehnologije</dc:publisher><dcterms:isPartOf xml:lang="sl">Materiali in tehnologije</dcterms:isPartOf><dc:subject xml:lang="en">deposition angle</dc:subject><dc:subject xml:lang="en">electrical transport</dc:subject><dc:subject xml:lang="sl">električni transport</dc:subject><dc:subject xml:lang="en">GLAD</dc:subject><dc:subject xml:lang="sl">GLAD postopek</dc:subject><dc:subject xml:lang="sl">korelacija med strukturo in lastnostmi</dc:subject><dc:subject xml:lang="sl">kot nanašanja</dc:subject><dc:subject xml:lang="en">nanostructures</dc:subject><dc:subject xml:lang="sl">nanostrukture</dc:subject><dc:subject xml:lang="en">optical properties</dc:subject><dc:subject xml:lang="sl">optične lastnosti</dc:subject><dc:subject xml:lang="en">silicon thin films</dc:subject><dc:subject xml:lang="en">structure-property relationship</dc:subject><dc:subject xml:lang="sl">tanki silicijevi filmi</dc:subject><dcterms:temporal rdf:resource="2000-2026" /><dc:title xml:lang="sl">Deposition angle as a continuous parameter: automated glad growth and structure–property correlations in silicon thin films| Kot nanašanja kot zvezni parameter: avtomatizirana rast pod spremenljivim poševnim kotom in korelacije med strukturo in lastnostmi silicijevih tankih plasteh|</dc:title><dc:description xml:lang="sl">Revija Materiali in tehnologije je znanstvena serijska publikacija, ki objavlja izvirne in tudi pregledne znanstvene članke ter tehnične novice, ki obravnavajo teoretična in praktična vprašanja naravoslovnih ved in tehnologije na področjih kovinskih in anorganskih materialov, polimerov, vakuumske tehnike in v zadnjem času tudi nanomaterialov. Revija, ki je nadaljevanje publikacije Kovine zlitine tehnologije, izhaja od leta 2000 in ima tudi elektronsko izdajo. Izdaja jo Inštitut za kovinske materiale in tehnologije</dc:description><edm:type>TEXT</edm:type><dc:type xml:lang="sl">znanstveno časopisje</dc:type><dc:type xml:lang="en">journals</dc:type><dc:type rdf:resource="http://www.wikidata.org/entity/Q361785" /></edm:ProvidedCHO><ore:Aggregation rdf:about="http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-U51ZZSTB"><edm:aggregatedCHO rdf:resource="URN:NBN:SI:DOC-U51ZZSTB" /><edm:isShownBy rdf:resource="http://www.dlib.si/stream/URN:NBN:SI:DOC-U51ZZSTB/fe2e8ae6-38d3-43a5-8be2-319ed7e757ea/PDF" /><edm:rights rdf:resource="http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" /><edm:provider>Slovenian National E-content Aggregator</edm:provider><edm:intermediateProvider xml:lang="en">National and University Library of Slovenia</edm:intermediateProvider><edm:dataProvider xml:lang="sl">Inštitut za kovinske materiale in tehnologije</edm:dataProvider><edm:object rdf:resource="http://www.dlib.si/streamdb/URN:NBN:SI:DOC-U51ZZSTB/maxi/edm" /><edm:isShownAt rdf:resource="http://www.dlib.si/details/URN:NBN:SI:DOC-U51ZZSTB" /></ore:Aggregation></rdf:RDF>