34 KB180 KB29 KB200020262012Avdiaj, SeferErjavec, Bojanštevilka:2letnik:46str. 161-167ISSN:1580-2949COBISSID:905642URN:URN:NBN:SI:doc-T7GPYQYAenInštitut za kovinske materiale in tehnologijeMateriali in tehnologijebrezdimenzijski časdimensionless timegas-flow calibration coefficienthydrogen outgassingkalibracijski koeficient za plinski pretokmetoda naraščanja tlakanerjavno jeklopressure-rise methodpretočna metodarazplinjevanje vodikastainless steelthroughput methodOutgassing of hydrogen from a stainless steel vacuum chamber| Razplinjevanje vodika iz nerjavnega jekla|Due to outgassing from the walls of vacuum calibration chambers, the generation of the calibration pressure in primary vacuum calibration systems operating below 10sup{-6} Pa becomes un-accurate. Austenitic stainless steel (SS) is the most common construction material for ultrahigh vacuum (UHV) and extremely high vacuum (XHV) chambers. Hydrogen is the predominant residual gasat very low pressures in SS vacuum systems, i.e., in the UHV and XHV range. Therefore, the reduction of the hydrogen outgassing rate is the most challenging problem in achieving pressures in those ranges. In this paper, a vacuum chamber with a wall thickness of 2.62 mm and made from AISI type 304 L SS was examined with the aim of mitigating the outgassing rate. The heat treatments were carried out at 250 °C for 380 h and at 350 °C for 140 h. After baking at 250 °C for 380 h (corresponding to a dimensionless time Fo = 3.09), an outgassing rate q = 2.86 * 10sup{-13} mbar L ssup{-1} cmsup{-2} was achieved at room temperature (RT). This RT outgassing rate was further reduced to q = 5.7 * 10sup{-14} mbar L ssup{-1} cmsup{-2} after baking for another 140 h at 350 °C (Fo = 8.66, resulting in a total dimensionless time SFo = 11.75)Zaradi razplinjevanja sten vakuumskih kalibracijskih posod postane vzpostavitev kalibracijskega tlaka v primarnih kalibracijskih vakuumskih sistemih, delujočih v tlačnem območju manjšem od 10na{-6} Pa, nenatančna. Avstenitno nerjavno jeklo je najprimernejši material za gradnjo ultra visokovakuumskih (UVV) in ekstremno visokovakuumskih (EVV) posod. Pri zelo nizkih tlakih v UVV- in EVV-področju je vodik prevladujoč rezidualni plin v vakuumskih sistemih, narejenih iz nerjavnega jekla. Tako je zmanjšanje razplinjevanja vodika najpomembnejše za doseganje nizkih tlakov v naštetih področjih. V tem članku je predmet raziskav vakuumska posoda z debelino stene 2,62 mm, ki je narejena iz nerjavnega jekla AISI type 304 L. Postopki pregrevanja vakuumske posode so se izvajali pri 250 °C 380 h in pri 350 °C 140h. Po pregrevanju pri 250 °C 380 h (kar ustreza brezdimenzijskemu času Fo =3,09) je bila pri sobni temperaturi dosežena gostota pretoka razplinjevanja q= 2,86 * 10na{-13} mbar L sna{-1} cmna{-2}. Z nadaljnjim pregrevanjem pri 350 °C 140 h (Fo = 8,66, kar rezultira v celotni brezdimenzijski čas sigmaFo = 11,75) se je gostota pretoka razplinjevanja pri sobni temperaturi zmanjšala na q = 5,7 * 10na{-14} mbar L sna{-1} cmna{-2}TEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaInštitut za kovinske materiale in tehnologije