URN:NBN:SI:DOC-QIMPVQPJ2015Pant, B. D.Santosh Kumar, S.documents/doc/Q/URN_NBN_SI_doc-QIMPVQPJ_001.pdfdocuments/doc/Q/URN_NBN_SI_doc-QIMPVQPJ_001.txt145articlestr. 80-860352-9045280573952URN:NBN:SI:doc-QIMPVQPJengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCanalitične enačbefinite element methodmetoda končnih elementovpiezorezistivni sensor tlakaA study of analytical solutions of plate equation for pressure microsensor diaphragmlimitations, comparison and usageomejitve, primerjava in uporabaŠtudija analitične rešitve enačbe plošče za mikrosenzorsko tlačno opno