URN:NBN:SI:DOC-P30Z6FQP2010Čekada, MihaPanjan, MatjažPanjan, Peterdocuments/doc/P/URN_NBN_SI_doc-P30Z6FQP_001.pdfdocuments/doc/P/URN_NBN_SI_doc-P30Z6FQP_001.txt357articlestr. 317-3301408-7073852574URN:NBN:SI:doc-P30Z6FQPengInštitut za rudarstvo, geotehnologijo in okoljeNaravoslovnotehniška fakultetaRMZ-materials and geoenvironmentInCmagnetronsko naprševanjeMetallurgical and Materials Engineeringmetalurgijamodeliranjenanotehnologijanitridiprevlekevečplastne struktureRMZ - Materiali in geookoljeSimulacija rasti večplastnih prevlek v industrijski napravi za magnetronsko naprševanjeSimulation of multilayer coating growth in an industrial magnetron sputtering system