13 KB138 KB12 KB199219991998Irmančnik-Belič, LidijaKoller, LidijaPožun, KarolPraček, BorutRemškar, Majaštevilka:3/4letnik:32str. 265-268ISSN:1318-0010COBISSID:19482629URN:URN:NBN:SI:doc-L3LPOKXZslInštitut za kovinske materiale in tehnologijeŽelezarna JeseniceŽelezarna RavneŽelezarna ŠtoreKovine zlitine tehnologijeHumiditymerjenjeplatinasenzorjitanke plastivlažnostNaprševanje platine na polimerno podlago| Pt thin film deposition on the polymer substrate|The structure and principles of operation of the thin film capacitve relative himidity sensors, applying a polymer film as dielectric, are presented. A deposition of the electrode, which must have a proper electrical conductivity and be porous enough that sensor has a quick response to changes of relative humidity is discussed. The thin Pt film deposited as the electrode on the polymer film is examined. The influence of different deposited parameters on the sensing mechanism and dielectric behaviour are investigated. The performance of this sensor structure is reportedPredstavljamo sestavo in princip delovanja tenkoplastnega kapacitivnega senzorja relativne vlage, ki ima za dielektrik polimerno folijo. Opisan je nanos obeh elektrod, ki morata imeti primerno električno prevodnost ter morata biti dovolj porozni, da senzor hitro reagira na spremembe relativne vlažnosti v okolju. Elektrodi kondenzatorske večplastne strukture sta iz platine napršene na polimerno folijo skozi masko. Obravnavamo problem depozicije elektrod in njun vpliv na hitrost odziva in dielektrične lastnosti te senzorske strukture. Obravnavamo tudi vpliv majhne mase senzorja na hitrost odziva, kar je velika prednost te senzorske strukture pred drugimi senzorjiNadaljuje se kot: Materiali in tehnologijeTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaInštitut za kovinske materiale in tehnologije