747 KB24 KB200020242015Calleja, WilfridoCastano, Víctor M.De la Hidalga Wade, Francisco JavierGalindo, MargaritaLópez, FranciscoPalomino-Merino, RodolfoZúniga, Carlosštevilka:1letnik:49str. 3-8COBISSID:1130154ISSN:1580-2949URN:URN:NBN:SI:doc-IARQGFIAenInštitut za kovinske materiale in tehnologijeMateriali in tehnologijeamorfni silicijamorfni silicij-germanijamorphous silicondiamantna strukturadiamond-type structuremicro-electro-mechanical systemsmicromachining technologymikroelektromehanski sistemiPECVDtanke plastiVernier beamVernierjev steberBoron-doped hydrogenated amorphous semiconductor MEMS| Z borom dopirani hidrogenirani amorfni polprevodnik MEMS|Revija Materiali in tehnologije je znanstvena serijska publikacija, ki objavlja izvirne in tudi pregledne znanstvene članke ter tehnične novice, ki obravnavajo teoretična in praktična vprašanja naravoslovnih ved in tehnologije na področjih kovinskih in anorganskih materialov, polimerov, vakuumske tehnike in v zadnjem času tudi nanomaterialov. Revija, ki je nadaljevanje publikacije Kovine zlitine tehnologije, izhaja od leta 2000 in ima tudi elektronsko izdajo. Izdaja jo Inštitut za kovinske materiale in tehnologijeTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaInštitut za kovinske materiale in tehnologije