URN:NBN:SI:DOC-G6HLLPP62003Macarol, IgorOsredkar, Radkodocuments/doc/G/URN_NBN_SI_doc-G6HLLPP6_001.pdfdocuments/doc/G/URN_NBN_SI_doc-G6HLLPP6_001.txt133articlestr. 8-130352-90454307028URN:NBN:SI:doc-G6HLLPP6engStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCfotolitografijamikroelektronikaračunalniški programiFOLIS, a PC compatible photolithography simulation tool