22 KB328 KB20 KB200020242011Vesel, AlenkaZaplotnik, Rokštevilka:3letnik:45str. 227-231ISSN:1580-2949COBISSID:859306URN:URN:NBN:SI:doc-CPG5XKASenInštitut za kovinske materiale in tehnologijeMateriali in tehnologijeplazemski reaktorjiplazmaradiofrekvenčna razelektritevsklopitveni členRadiofrequency induced plasma in large-scale plasma reactor| Radiofrekvenčno inducirana plazma v reaktorju velikih dimenzij|In this contribution we describe the characteristics of an electrical discharge in rarified gas created by dual-excitation coil. By using two parallel and overlapping excitation coils we can achieve a better transfer of the electromagnetic power from the radiofrequency (RF) generator to gaseous plasma. Dual-excitation coil is connected via a matching unit and a high frequency cable to the RF generator. Such special assembly (coupling of plasma with RF generator) has several advantages in comparison with normally used set-up. These advantages are the following: power transfer to plasma is increased, plasma is more homogeneous, the voltage necessary for generating plasma is lower, and many side-effects which are due to capacitive coupling of the plasma system are reducedV prispevku opisujemo meritve karakteristik plinske razelektritve, inducirane z dvojno vzbujevalno tuljavo. Z uporabo dveh vzporedno vezanih prekrivajočih se in zamaknjenih vzbujevalnih tuljav dosežemo boljši prenos elektromagnetne moči od radiofrekvenčnega generatorja v plinsko plazmo. Tuljavi sta vezani zaporedno v sklopu: tuljava-uskladitveni člen-visoko- frekvenčni kabel-generator. Tovrstna vezava tuljav ima pred doslej opisanimi sklopi več prednosti, med drugim naslednje: izkoristek moči generatorja se poveča, plazma v razelektritveni posodi je bolj homogena, napetost na generatorju, ki je potrebna za generiranje plazme, je manjša, obenem pa so bistveno zmanjšani stranski pojavi, ki so posledica kapacitivnih sklopitev v plazemskem sistemuTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaInštitut za kovinske materiale in tehnologije