URN:NBN:SI:DOC-720D5B1G2008Arnoult, G.Belmonte, ThierryCardoso, R. P.Henrion, G.Kosior, F.Noël, C.documents/doc/7/URN_NBN_SI_doc-720D5B1G_001.pdfdocuments/doc/7/URN_NBN_SI_doc-720D5B1G_001.txt384articlestr. 272-2760352-90457569748URN:NBN:SI:doc-720D5B1GengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCargonkisikmikrovalovna plazmapovršinska obdelavatlakMicrowave plasmas at atmospheric pressureMikrovalovna plazma pri atmosferskem tlakunew theoretical developments and applications in surface sciencesodobni teoretični pristopi in uporaba za modifikacijo površin