URN:NBN:SI:DOC-5MAVQMEL2000Buhvald, AlojzKaker, HenrikPerovnik, Vladodocuments/znanstveni_clanki/materiali_in_tehnologije/html/urn_nbn_si_doc-5mavqmel.htmldocuments/znanstveni_clanki/materiali_in_tehnologije/pdf/urn_nbn_si_doc-5mavqmel.pdfdocuments/znanstveni_clanki/materiali_in_tehnologije/txt/urn_nbn_si_doc-5mavqmel.txt3 strani3/434articlestr. 157-1591580-2949222122URN:NBN:SI:doc-5MAVQMELslvInštitut za kovinske materiale in tehnologijeMateriali in tehnologijeInCelektronski mikroskopsimulacijetanke plastiMeasurements of thin film thickness in SEM with backscattered electronsMeritev debeline tankih plasti v SEM s signalom povratno sipanih elektronov