URN:NBN:SI:DOC-1DX9SQDL1997Klanjšek Gunde, Martadocuments/doc/1/URN_NBN_SI_doc-1DX9SQDL_001.pdfdocuments/doc/1/URN_NBN_SI_doc-1DX9SQDL_001.txt127articlestr. 23-300352-9045743194URN:NBN:SI:doc-1DX9SQDLengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCanalizna kemijainfrardeča spektroskopijamaterialimikroelektronikanečistočepolprevodnikiInfrared spectroscopy as analysing tool for materials used in microelectronicsUporaba infrardeče spektroskopije pri analizi materialov za mikroelektronsko industrijo